真空度顯示：顯示腔體內部的真空度數值

運行程序段：分為3個(gè)步驟，綠色表示運行狀態(tài)

①真空泵啟動(dòng)②射頻電源打開(kāi)③放氣

進(jìn)氣流量顯示：通過(guò)調節A、B流量調節閥調節氣體進(jìn)入腔體的大小，在兩個(gè)圖標顯示，上部顯示為A流量，下部顯示為B流量

時(shí)間：顯示設備清洗時(shí)間

功率:顯示當前設備清洗是清洗功率

設備溫度：顯示當前射頻電源設備溫度

放氣狀態(tài)：顯示當前放氣閥開(kāi)啟或關(guān)閉狀態(tài)

清洗時(shí)間：點(diǎn)擊可設置設備運行清洗時(shí)間

清洗功率：點(diǎn)擊可設置設備運行清洗功率

開(kāi)始運行：點(diǎn)擊可切換設備開(kāi)始運行或者停止運行

參數設置：非專(zhuān)業(yè)人士請勿調節，如有需要請聯(lián)系廠(chǎng)家人員

射頻電源開(kāi)關(guān)：按下產(chǎn)品前面板左邊的電源按鈕  此時(shí)產(chǎn)品通電啟動(dòng) 液晶顯示屏點(diǎn)亮， 顯示啟動(dòng)界面 2 秒，然后進(jìn)入相應工作狀態(tài)顯示界面。在按一下則關(guān)閉射頻電源。

功率調節旋鈕：射頻功率調節，通過(guò)旋轉前面板上的功率設置旋鈕來(lái)增加或減小功率水平（順時(shí)針 旋轉為增加功率，逆時(shí)針旋轉為減小功率）。

射頻輸出的開(kāi)啟和關(guān)閉：按下前面板上的射頻輸出 開(kāi)【藍色按鈕】 打開(kāi)射頻輸出，同時(shí)定時(shí)器開(kāi)始倒計時(shí)； 按下射頻輸出 關(guān)【紅色按鈕】 關(guān)閉射頻輸出。

調節功率設置旋鈕：顯示內容“Wf"前的數值會(huì )發(fā)生相應的變化，此 時(shí)的數值為功率設定值；當按下射頻輸出 開(kāi)【藍色按鈕】開(kāi)啟射頻時(shí)，“RF OFF"將變成“Wr"，Wf 前的數值也會(huì )從 0 上升，當然 Wr 前的數值也會(huì )根據負載情況發(fā)生相應的變化,如果射頻電源的后端負載為 50 歐時(shí)，Wr 前的數值將為 0，即此時(shí)射頻輸出無(wú)反射功率；否則，Wr 前數值將根據負載情況顯示相應的反射功率值。

手動(dòng)匹配器：通過(guò)調節前面板上的【MATCH】控制區的【TUNE】和【LOAD】旋鈕實(shí)現匹配器的手 動(dòng)匹配，反射功率減低到 0W。

【MATCH】控制             【最大反射】指示                      【手動(dòng)匹配】指示

 手動(dòng)調節【TUNE】和【LOAD】旋鈕 調節【TUNE】旋鈕，如果 Wf 數值增加，證明調節的百分比方向正確，否則往相反的方向調節；到 Wf 數值到達設置最大值，通過(guò)微調兩個(gè)旋鈕，實(shí)現 Wr 數值減低； b．調節【LOAD】旋鈕的方法同理。（通過(guò)兩個(gè)旋鈕調節觀(guān)察Wf值根據旋鈕調節變大  Wr值根據旋鈕調節變小）

2、軟件語(yǔ)言選擇

按下前面板上的【MENU】鍵進(jìn)入主菜單中，通過(guò)前面板上的【UP】或【DOWN】鍵

選中主菜單中的第 1 項“Lang./語(yǔ)言"并按下【MENU】鍵確認，進(jìn)入子菜單選中“English"

或“中文"并按【MENU】鍵確認即可切換相應的語(yǔ)言